微型氣體流量計因其體積小、響應快的特點，廣泛應用于醫療設備、半導體制造及實驗室分析等場景。其安裝需嚴格遵循技術規范，確保測量精度與設備壽命。以下從安裝準備、管道處理、設備安裝、電氣連接及調試校驗五大環節展開說明。
一、安裝前準備：環境與設備雙核查
1.環境評估：選擇遠離強電磁干擾（如變頻器、大功率電機）及強振動的區域，避免傳感器因電磁噪聲或機械振動產生測量漂移。例如，在半導體設備供氣系統中，流量計需與射頻電源保持至少1米間距。
2.管道清潔：使用壓縮空氣或氮氣對管道進行吹掃，清除焊渣、銹蝕及油污，防止雜質堵塞傳感器。推薦采用雙端吹掃法：從上游進氣口通入氣體，在下游排氣口檢測氣體潔凈度，直至無可見顆粒物。
3.設備檢查：確認微型氣體流量計型號與介質特性匹配（如測量氬氣需選擇耐腐蝕涂層傳感器），檢查密封圈完整性，并核對出廠校準證書的有效期。
二、管道處理：直管段與密封工藝
1.直管段要求：流量計上游需保證5倍管道直徑（5D）的直管段，下游需3倍（3D）。例如，在φ25mm管道中，上游直管段長度應≥125mm。若空間受限，可通過安裝流量整流器縮短直管段需求。
2.密封工藝：采用全金屬密封墊片（如316L不銹鋼纏繞墊），避免橡膠墊片受氣體腐蝕脫落。法蘭螺栓緊固需對角分三次擰緊，最終扭矩控制在15~20N·m，防止應力導致傳感器變形。
三、設備安裝：方向與固定規范
1.安裝方向：按流量計標識的箭頭方向安裝，確保氣體流向與傳感器檢測面垂直。例如，在醫療呼吸機供氣系統中，若反向安裝可能導致渦流干擾，使測量誤差達±5%以上。
2.固定方式：使用剛性支架固定流量計，避免管道熱脹冷縮導致位移。推薦在流量計上下游各安裝一個彈性伸縮節，吸收管道軸向應力。
四、電氣連接：信號與電源隔離
1.信號線敷設：采用雙絞屏蔽電纜（如RVVP 2×0.75mm2），屏蔽層單端接地，接地電阻＜4Ω。信號線與電源線間距需＞20cm，防止50Hz工頻干擾。
2.電源配置：若設備支持24VDC供電，需配置線性電源（紋波＜50mV），避免開關電源高頻噪聲影響模擬信號輸出。
五、調試校驗：零點校準與實流驗證
1.零點校準：在管道無氣體流動時，通過菜單進入零點校準模式，待數值穩定后保存參數。例如，在測量氮氣時，零點漂移應≤±0.5%FS。
2.實流驗證：使用標準流量發生器（如活塞式氣體流量標準裝置）進行比對，測量誤差需在±1%FS以內。例如，在100sccm量程下，實測值與標準值偏差應≤1sccm。
通過標準化安裝流程，微型氣體流量計可實現長期穩定運行。在半導體刻蝕設備中，某案例通過優化直管段長度與屏蔽接地，將氬氣流量測量重復性從±1.5%提升至±0.8%，保障了工藝良率。
更新時間：2025-04-25 
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